Système de rotor
Le noyau de puissance d'une pompe à vide sèche est un ensemble rotor ajusté avec précision, généralement composé de deux à trois rotors hélicoïdaux ou en forme de griffes-. Ces rotors métalliques de haute-précision s'engrènent les uns avec les autres avec des jeux au niveau du micron-, utilisant une contre-rotation-pour propulser le gaz de l'orifice d'entrée vers l'orifice d'échappement. La conception de profil unique des rotors-tels que les profils en développante ou en arc de cercle-détermine l'efficacité du pompage ; les vitesses de rotation peuvent atteindre 3 000 à 6 000 tr/min et un taux de compression à un seul étage-peut dépasser 10 : 1.
Structure d'étanchéité
Contrairement aux pompes étanches à l'huile, les pompes sèches maintiennent l'intégrité du vide grâce à un mécanisme d'étanchéité à triple couche :
Joints labyrinthes : des canaux tortueux à plusieurs -étages situés aux extrémités du rotor utilisent la résistance au flux d'air pour bloquer les fuites.
Barrière de gaz : un gaz inerte est injecté dans les espaces critiques pour créer une barrière de pression pneumatique.
Revêtements spécialisés : les surfaces du rotor sont recouvertes de matériaux tels que le PEEK (polyéther éther cétone), qui offre à la fois une résistance à l'usure et un coefficient de frottement réduit.
Ces caractéristiques de conception maintiennent le taux de fuite en dessous de 0,5 Pa·m³/s, répondant ainsi aux exigences strictes de propreté d'industries telles que la fabrication de semi-conducteurs.
Module de refroidissement : le « gardien de la température » pour un fonctionnement continu
En raison de l'absence de lubrification à base d'huile, les pompes sèches nécessitent un système de gestion thermique intelligent :
Refroidissement par air : des ailettes de dissipation thermique en alliage d'aluminium associées à un ventilateur centrifuge dissipent jusqu'à 60 % de la chaleur générée.
Refroidissement par eau : une boucle interne de circulation d'eau en tube de cuivre-offre une efficacité d'échange thermique trois fois supérieure à celle du refroidissement par air.
Refroidissement à changement de phase : certains modèles utilisent la technologie des caloducs, atteignant un taux de conductivité thermique jusqu'à 100 fois supérieur à celui du cuivre pur.
