Les pompes à vide fonctionnant à des vitesses atteignant des dizaines de milliers de tours par minute sont généralement appelées pompes turbomoléculaires ; leur composant principal est un rotor qui tourne des dizaines de milliers de fois par minute. Cette conception fait en sorte que les molécules de gaz se comportent comme si elles étaient frappées par une raquette de tennis en rotation rapide, les poussant continuellement vers la sortie de la pompe. Les pompes turbomoléculaires modernes peuvent atteindre des vitesses de rotation allant jusqu'à 90 000 tr/min-, ce qui équivaut à effectuer 1 500 rotations par seconde.
Avantages uniques des pompes à-vide élevé
Niveaux de vide ultra-élevés : les niveaux de vide limite atteignables peuvent atteindre 10⁻⁸ Pascals-huit ordres de grandeur supérieurs à ceux obtenus par les pompes mécaniques standards.
Propre et sans contamination - : ne nécessite aucune huile lubrifiante, empêchant ainsi le retour des vapeurs d'huile et la contamination ultérieure de l'environnement sous vide.
Pompage rapide : atteint les niveaux de vide opérationnels en seulement trois minutes après le démarrage.
Synergie à plusieurs - étapes : permet d'obtenir un pompage très efficace grâce à l'action combinée de la traînée moléculaire et de la compression mécanique.
Scénarios d'application typiques
Dans l'industrie des semi-conducteurs, ces dispositifs sont utilisés pour les processus de revêtement de tranches ; dans la recherche scientifique, ils aident les accélérateurs de particules à maintenir des environnements d'ultra-vide poussé. Les tomodensitomètres médicaux en dépendent également pour préserver l'intégrité du vide des tubes à rayons X-, tandis que les détecteurs infrarouges des instruments d'observation astronomique en dépendent pour éliminer les interférences de bruit thermique causées par les molécules d'air.
